十字交叉四路分流,一进三出高效分配:隔板本体设一个公共进气口和三个独立出气口,可并接在FRL模块后,将预处理过的气源分成三路供给不同工位,减少分支接头与配管复杂度
模块化插拔连接,免工具拆装:两侧卡槽与模块侧轨精密配合,旋紧单颗螺钉实现固定与密封,拆卸时松半圈即可分离,便于系统重组
通径大,压降低:内部流道当量直径≥6mm,在额定流量下压降≤0.03MPa,不影响系统效率
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